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    公开号:WO1980002896A1
    申请号:PCT/JP1980/000136
    申请日:1980-06-18
    公开日:1980-12-24
    发明作者:S Isogami；S Hirao；S Aoki；J Tamamura；T Nagayoshi；M Yasui
    申请人:Hosiden Electronics Co；S Isogami；S Hirao；S Aoki；J Tamamura；T Nagayoshi；M Yasui；
    IPC主号:H03H3-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 発明の名称
    [0003] 音叉型振動子の周波数調整方法及びその装置 技術分野
    [0004] こ の発明は圧電形式の音叉型振動子におけるその 振動周波数を調整する方法及び装置に関する。
    [0005] 背景技術
    [0006] 例えば水晶の よ う 圧電結晶を音叉型に切 ] 出 し た音叉型振動子は基準信号を得る ための発振回路に 組込まれる こ とがある。 この よ う ¾音叉型振動子は 一般にそのベー ス部を保持 して取付ける。 音叉の二 つの脚部のそれぞれの固有振動周波数が一致 してい ¾い と、 つま 不平衡であ る と、 ペー ス部分に漏振 動が発生する こ の よ う な状態でベー ス部分を保持す る と、 本来の振動周波数か らずれた振動周波数と
    [0007] ]3、 かつ Q が低下する。 このため音叉型振動子の支 持をやわ らかに支持 して、 振動子の保持に よ る振動 周波数への影響を避けていた。 従っ て例えば移動体 に音叉型振動子が組込まれる場合においては、 檨械 的街撃を受けて も十分保持で き る よ う る保持構造と する こ とは困難であ った。
    [0008] こ の よ う ¾点 よ ]9 音叉型振動子の振動の不平衡を 補王 して安定化する こ とが提案されている。 それは 不平衡時、 つま 音叉型振動子の両脚部の固有振動
    [0009] ΟΜΡΪ
    [0010] " W1PO . が一致して ¾い場合はペー ス部に漏れ振動が生じる こ とか ら、 そのペー ス部の漏れ振動を測定 し、 一方 の脚部を一定の量切削加工 した時のペー ス部の漏れ 振動の増減から何れの脚部を どれだけ切削すれば良
    [0011] かを予測演算 し、 その結杲に も とずき切削加工を 行 つ て両脚部の固有振動が一致する よ う に して
    [0012] た。
    [0013] 音叉型振動子の振動周波数はその脚部の長さを調 整する こ と によ っ て調整でき、 一般にはその長さ を 予め目 的 とする周波数よ U も長 く 作っ ておき、 脚部 を削 っ て短か く する こ と に よ つ て目 的周波数に近ず けている 。 と ころで従来におい.ては先ず音叉型振動 子の脚部の固有振動周波数が等 し く る よ う に、 つ ま ペー ス部の漏れ振動が よ う に即ち平衡状態 に ¾ る よ う に平衡加工 し、 その後両脚部を等しい長 さずつ削っ て目 的周波数に近ずけていた。 この よ う K して周波数を調整する場合はその 目的周波数に対 し加工前の振動子の固有振動周波数とがかな i 難れ ている と最初に正 し く 平衡状態に加工 し、 か'つそれ それの脚部を正確に同一長さ だけ削っ て も、 実際に 加工された も のはパ ラ ン ス が崩れて しま う こ とが し ば しばあ った。 これはその振動子の各部分が均一で あ る こ とが前提であ るが、 僅かで もその均一がずれ ている と、 平衡加工の後に 目 的局波数に近ずけてい
    [0014] - ひ、 る間にその平衡状態が崩れて しま う ためであ る。
    [0015] —方、 なるべ く 目的周波数に近 状態に音叉型振 動子を切出 し、 これに対 して平衡加工を施 し、 更に 目的周波数に近ずける こ とが考え られる。 その よ う にするために 目 的周波数に可成 ]3近い状態に振動子 を切出すこ と にな ] 、 これは非常に高 精度を必要 とする 。 さ も ¾ければ目 的 とする周波数よ 1) も高 も のを切出 して しま っ て調整で き る く る 。 従っ て 実際の製造技術か らする と最初にその よ う に高 精 度で 目的周波数に近い音叉型振動子を切出すこ と は 生産性ゃ コ ス 卜 の面から実用的ではるい。
    [0016] —方、 平衡加工する と共に 目的周波数にる っ てい るか否かを調べ、 ずれれば平衡加工をする こ と を繰 返 して 目的周波数に近ずける こ と も考え られるが、 これは加工時間が長 く る る欠点がある 。
    [0017] この発明の 目 的は振動子の切出 し加工を比較的簡 単に行い、 従 って 目 的周波数か ら可成 ]9低い周波数 と な る よ う に切出 しその音叉型振動子を比較的短い 時間で 目 的局 数に正 し く 調蓥でき、 しかも平衡の 取れた音叉型振動子の周波教調 方法及びその装置 を提供する も のである 。
    [0018] 発明の開示
    [0019] こ の発明；こ よれば先ずその被調整音叉型振動子の 振動周波数を測定 し、 それが目 的の周波数よ ！） 所定 値だけ低 周波数よ ] も 高 も のになる迄両脚部に 対して等 しい値の加工を施 し、 その後振動子のベ 一 ス部の振動量、 つま 漏れ振動が少 く る る よ う に 平衡加工を行 う 。 その よ う に平衡加工を行った振動 子に対 しそのペー ス部の振動量の変動を所定値以下 に保持 し がら 目的周波数に加工する。 この よ う に 比較的低い振動周波数よ ] 、 目的周波数よ ] も少 し 低い周波数にるる よ う に、 つま ] 或る基準値を基準 周波数と し、 その周波数以上になる よ う に先ず加工 し、 これは両脚部に対 じて等 し く、 かつ比較的粗い 加工に よ っ て急速に上記基準周波数迄近ずけ、 その 後平衡加工を行い、 更にその後徐 々 に 目的周波数に 近ずける。 従っ て目 的周波数と基準周波数と の差は 小さいため、 その平衡加工か ら 目的周波数に加工す る迄の間にその平衡状態を大き く 崩すよ う おそれ はない。
    [0020] 音叉型振動子の両輝部の各固有振動周波玆差が所 定値以下に ¾ つた こ と を検出するために、 音叉型振 動子のベー ス部を機械的に拘束 した時とその拘束を 藓除 した時 と の音叉型振動子の各振動周波数の差が 所定値以下に る こ と に よ ] 検出する。 更に平衡状 態、 即 ち両脚部の各固有振動周波数の差が所定 i 以 下にな つた こ と を検出する ため、 音叉型振動子の両 の一方を加工する ごと に固有振 &周波数の差を 測定 し、 その測定値と 前回の測定値と を比較し、 前 者が後者よ 小さ 場合は今回加工を行っ た脚部に 対 し加工を行い、 前者が後者よ ！）大き ければ今回加 ェを行わ ¾かつ た脚部に対 し加工を行い、 こ の よ う ¾ こ と を繰返 し、 固有振動周波数の差が所定値以下 にる る こ と を検出 して平衡状態と する。 或は同様に して固有振動周波数の差の最小値を検出 して平衡状 態と し、 又は脚部に対する加工を一方か ら他方へ変 更 した回数を計数 し、 こ の計数値が所定値以上に ¾つ たこ とか ら平衡状態とする 。
    [0021] 図面の簡単る説明
    [0022] 第 1 図は音叉型振動子を示す正面図、 第 2 図は音 叉型振動子の加工装置の概略を示すプ ロ y ク図、 第
    [0023] 3 図はこの発明に よ る振動子の周波数調整装置の電 気的構^の概略を示すプ ロ ッ ク図、 第 4 図は こ の発 明装置の電気的構成の詳細例を示すブ B ッ ク図、 第
    [0024] 5 図は /の変化特性を示す曲線図、 第 6 図は振動 子の 自動研削装置の一例を示す外観図、 第 7 図は第 6 図の具体例の断面図、 第 8 図は第 7 図の A - A線 断面図、 第 9 図は第 7 図の B - B 線断面の一部を示 す図、 第 1 0 図は保持核構の振動子 ¾動部分の例を 示す図、 第 1 1 図は回転箱の拡大断面図、 第 1 2 図 は振動子を保持体に保持 した状態を示す断面図、 第 1 3 図は振動子の腕の何れの固有振動が大き かを
    [0025] ( ΟΜΡί ) U謂 ノ 1
    [0026] 6
    [0027] 測定する装置の一例を示すプ n ッ ク図、 第 1 4 図は その振動子の腕と ス リ ッ ト 1 4 9 と の関係を示す図 し る ο
    [0028] 発明を実施するための最良の形態
    [0029] 第 1 図は例えば水晶の よ う る圧電材料よ ]) なる音 叉型振動子を示 し、 その一対の平行する脚部 1 1 a 及び 1 1 b の同一側の一端部はベー ス 1 2 にて互に 違結されて音叉型振動子 1 3 が構成されている 。 音 叉型振動子の脚部 1 1 a , 1 1 b の固有振動周波数 がー致 している場合はベー ス部 1 2 には漏れ振動が 。 しか しこれ等固有振動周波数がずれている と ペー ス部 1 2 に漏れ振動が生 じ、 従ってペー ス部 1 2 を保持する と振動周波数が変化 し、 かつ Qが低 下する。 脚部 1 1 a , 1 1 b の固有振動を調整する にはぞの長さ , 2 を削 っ て調整すれば良い。 従っ て 目的周波数に対 して各固有振動周波数が予め 低 周波数になる よ う に振動子を作っ てお き 、 これ よ ]9その脚部を削って 目的周波数にする。
    [0030] 第 2 図は この発明に よ る音叉型振動子の振勣周波 数を調整する装置を簡略化 して示 し、 音叉型振動子
    [0031] 1 3 は保持部 1 4上に保持され、 保持部 1 4 は基台 1 5 に取付け られ、 基台 1 5 内 に制御装置 ¾ どが収 容されている 。 基台 1 5 よ 延長されたアー ム 1 6 にモ ー タ 1 7 が取付け られ、 モ ー タ 1 7 の回転軸に 砥石 1 8 が取付け られ、 この砥石 1 8 に よ ]) 音叉型 振動子 1 3 の脚部を切削 してその長さを調整する こ と ができ る よ う にされて る 。 脚部 1 1 a , 1 1 b をその一方ずつを削る こ とがで き る よ う 両脚部間 の中心軸に対 して音叉型振動子 1 3 を回転させる こ と ；^で き る 。
    [0032] 音叉型振動子 1 3 が基準周波数よ ] も高 く な る迄 その両脚部 1 1 a , 1 1 b を同一長さずつ切削加工 する 。 その基準周波数は目 的と する周波数 よ も一 定周波数だけ低 値に選定されてある。 音叉型振動 子 1 3 を発振周波数決定要素 とする発振回路 1 9 を 第 3 図に示すよ う に構成 し、 その発振回路 1 9 の発 振周波数を周波数測定回路 2 1 にて測定 し、 その測 定値を レ ジ ス タ 2 2 ('て入れ、 これと レ ジ ス タ 2 3 に 設定された基準周波数と を比較回路 2 4 にて比較す る 。 発振回路 1 9 の発振周波数、 つま 音叉型振動 子 1 3 の振動周波数が上記基準周波数と等 しいかこ れょ も 高 く な る と比較回路 2 4 の出力に よ ] これ が検出される 。
    [0033] 次に こ の音叉型振動子 1 3 に対する平衡加工、 即 ち安定化加工を行う 。 つま 音叉型振動子 1 2 の漏 れ振動が或る値以下にな る よ う に調整する 。 こ の調 整のために この例においては振動子 1 3 のベー ス部
    [0034] 1 2 を根械的に拘束 した時の振勣周 数と、 その拘 一 c-コ
    [0035] Vv- Ii o . V 束を解 た時の振動周波数と の差が小さ く る る よ う に音叉型振動子を加工する。 例えばコ レ ツ 卜 2 5 の 締付 リ ン グ 2 6 を振動子 1 3 側に押 してペー ス部 1 2 を締付けた ] 、 それを外 した ] する こ と に よ つ てペー ス部 1 2 に対 して機械的拘束を与えた ] 、 そ の拘束を解除 した する 。 こ の コ レ ツ ト 2 5 の締付 制御を制御回路 2 7 にて制御 し、 それと同期して周 波数測定回路 2 1 の測定値を レ ジ ス タ 2 2 に入れ、 又その前に レ ジ ^ タ 2 2 の内容を レ ジ ス タ 2 8 に移 す o
    [0036] こ の レ ジ ス タ 2 8 と レ ジ ス タ 2 2 との各内容を比 較回路 2 9 にて比較する 。 レ ジス タ 2 2 の内容 と レ 、クス タ 2 8 の内容はその一方は振動子 1 3 のベー ス 部に機械的拘束を与えた時の発振回路 1 9 の発搌周 波数であ J？、 他方はペー ス部 1 2 に対 して拘束を与 えてない時の振動周波数であ ])、 その差が比較回路 2 9 にてと られ ； その差出力はゲー ト 3 1 を通 じて 表示器 3 2 に与え られる 。 ゲー ト 3 1 は先に述べた よ う に比較回路 2 4 にお.いて振動子 1 3 の振動周波 数が基準周波数と等 しいかそれ よ 高 く な る と 出力 が生 じ、 ゲ一 ト 3 1 が開かれる よ う にされる。
    [0037] この よ う に してその拘束を与えた時の振 ®周波数 と拘束を解いた時の振動周波^と の差が所定値以下 ('て る っ た時は脚部 1 1 a ， 1 1 b の各固有振動周波 数がほぼ等 し く ' 、 ペー ス部 1 2 に対する漏れ振 動が所定値以下になる。 次にその脚部 1 1 a ， l i b に対 しベー ス部の漏れ振動量を一定値以下に保持し て振動子の振動周波数を 目的周波数に近ずける。
    [0038] 例えば上記平衡加工終了時の振動子 1 3 の固有振 動周波数を /。 、 目 的振動周波数を F Q 、 振動子
    [0039] 1 3 の測定周波数を とする時一方の脚部に対 して は —f が充分小さ く な る迄、 又他方の脚部 に対 しては F Q—/が充分小さ く ¾ る迄振動子の脚部 をそれぞれ切削加工する 。 次に平衡加工終了時の振動子 1 3 の固有振動周波 数 f 0 を精度 よ く 求め る手法を第 4 図を参照 して説 明する。 第 4 図の端子 3 3 か ら、 第 3 図に示 した水 晶振動子を基準周波数と して発振する発振回路 1 9 の出力電気信号が入力される。 こ の信号はア ナ ロ グ デジ タ ル変換器 3 4 に よ その周波数を示すデジタ ル信号に変換される。 そのデ ジ タ ル信号は切替回路
    [0040] 3 5 を通 じて振動子のベー ス部 1 2 に対 して拘束を 加えな い 自 由 状態における発振周波数 /fがレジス タ 2 2 に記憶され、 その後振動子のペー ス部 1 2 に - 対 して機械的拘束を与えた状態の発振周波数 /eがレ ジ ス タ 2 8 に格納される 。
    [0041] これ等レ ジ ス タ 2 2 ， 2 8 の周波数の差が差回路 2 9 で検出 され、 その差周波数 ^/ /は レ ジ ス タ 3 6
    [0042] ひ、
    [0043] ： 1 に記憶される。 この は変動量であ っ て、 このレ ジス タ 3 6 に格納された /の大き さに応 じて制御 回路 3 7 が制御され、 振動子 1 3 に対する切削研摩 の制御が、 その大 き さ / に応 じて例えば振動子 1 3 に対する砥石の回転速度の制御、 或いは接触圧 の制御、 更にその接触時間の制御が行われる。
    [0044] 又 この ^ / はレ ジ ス タ 3 8 に蓄え られて る前回 の / /" と比較器 3 9 で比較される。 今回の差周波数 /n に対 してレ ジ ス タ 3 8 に格納されている前回の 差周波数 /n_！ と の比較にお て前者の方が小さけ れば振動子の今回削った方の脚部に対する研削が引 続き 行われるが、 4 の 、 つま ！） 前回の差周波 数の方が小さ く 、 今回の 4/n の方が大き く ¾ つた場 合は比較器 3 9 の出力によ ]) 制御回路 4 1 が制御さ れて振動子 1 3 の保持部が回転され、 今回研削され た歸部 と反対の脚部が研削される。 こ の よ う に して /が常に最小値に近づ く よ う に制御される 。
    [0045] 即 ち例えば第 5 図に示すよ う に各測定点が曲鏢 4 2 に沿っ て順次矢印の方向に移 i · "が減少する よ う にるる 。 更に レ ジ ス タ 3 6 の今回の差周波数
    [0046] は比較器 4 3 において回路 4 4 か らの設定値 F x と比較されて こ の値 よ J も 小さい こ とが検出さ れる と第 1 の合格指令が判定回路 4 5 に与え られる。
    [0047] 更に レ ジ ス タ 3 6 の今回の差周波数 4 は比較器
    [0048] Ο Ρί
    [0049] " O 4 6 にも 供給され、 最小値レ 'クス タ 4 7 の出力 /// m. と比較される。 この結果レ ジ ス タ 3 6 の出力 J/n 力 最小値 /"m よ ！） も小さければ比較器 4 6 の出力に よ i) ゲ ― ト 4 8 が開け られてレ ジ ス タ 3 6 の jyn がゲ ― ト 4 8 を通じて最小値 レ ジ ス タ 4 7 に m と して 蓄え られる。 /n よ ！） /mの方が小さければゲ 一 ト
    [0050] 4 8 は閉 じたま ま であっ て前の最小値 4fmが保持さ れる。 このよ う に してレ ジス タ 4 7 にはそれ迄に測 定された差周波数 / 中の最小の も のが J/m と して [j i'½、される。
    [0051] 小値レ ジ ス タ 4 7 の 4fmに対 し回路 4 9 からの 一定値びが加算回路 5 1 において加え られ、 /m+Q; が作られ、 これが比較器 5 2 に供給され、 これと レ ジ ス タ 3 6 の今回の差周波数 Af^ と比較される。 比
    [0052] 5 2 では /m+a よ ] も レ ジ ス タ 3 6 の 出力 /η が小さ いこ と を検出する とその出力は高 レ ベ ル にる る。
    [0053] に比較器 3 9 の出力が反転する とその反転回数 が計数回路 5 3 にて計数される。 つま J9 第 5 図に示 す よ う に曲籙 4 2 に従っ て が小さ く ¾ つて行 く が、 その曲線 4 2 の最小値に達 した後、 更に研削を 行 う と / が大き く な ] 、 こ の時レ ジ ス タ 3 8 か ら の前回の差周波数 ^ "η_ よ も レ ジ ス タ 3 6 か らの 今回の差周波数 /n の方が大 き く ] 、 比較器 3 9 の出力が反転し、 これがゲー ト 5 0 を通 じてカ ウ ン タ 5 3 にて計数される。
    [0054] この よ う に比較器 3 9 の出力が反転する と先に述 ベたよ う に制御回路 4 1 に よ っ て振動子 1 3 の切削 する方の脚部が変え られるため、 曲線 5 4 に示すよ う に再びその測定差周波数 は減少 し始める。 同 様に して ^/ /が第 5 図の曲線 5 4 の最小値を過ぎる と比較器 3 9 の出力が反転し、 これが計数される と 共に脚部の反転が行われ、 以下同 じよ う ¾ こ とが繰 返される。
    [0055] こ の よ う に して脚部を反転 した回数が計数され、 その計数値が所定値、 つま 1 設定回路 5 5 に設定さ れた値 N と一致回路 5 6 にお て比較され、 カ ウ ン タ 5 3 の計数値が N にな ] 、 かつ比較器 5 2 の出力 が高 レ ベ ルである とゲー ト 5 7 の出力が高 レ ベル と ¾ ϊ) , その出力は O R ゲ一 卜 5 8 を通じて判定回路 4 5 に合袼指令 と して与え られる。
    [0056] この場合補助基準周波数が設けられ、 こ の補助基 準周波数にる つた後に上記合格指令が出 される よ う にされる。 つま ]9 目 的とする基準周波数 Fsよ ] 可成 低 周波数において最小値、 即ち正 し く 平衡 した こ とが検出されてしま う とその状態か ら基準周波数 る迄両. 部を等量ずつ削る こ とはその削加工中 に両 ¾部 'の平衡がずれるおそれがある 。 従っ て補助 基準周波数に達 した後に最小値、 つま ！） 平衡が取れ
    [0057] た こ と を検出する よ う にされる 。
    [0058] そのため補助基準周波数 Faがレ ジ ス タ 5 9 に記憶
    [0059] され、 これ と レ ジ ス タ 2 2 よ ] のペー ス部を拘束 し
    [0060] ¾い時の周波数 /£と が比較回路 6 1 で比較される。
    [0061] 補助基準周波数 Faに被調整振動子の周波数 / fが達 し
    [0062] ¾い場合は比較回路 6 1 の出力に よ 制御回路 3 7
    [0063] が制御されて振動子に対する切削が行われる。
    [0064] ペ ー ス部を拘束 し ¾い時の水晶振動子の周波数
    [0065] が補助基準周波数 Faよ ] も高 く るる と、 或いは一致
    [0066] する と比較回路 6 1 の出力が反転 して高 レ ベ ル にる
    [0067] 1 、 これに よ ]9 ア ン ドゲー ト 6 2 が開 き 制御回路
    [0068] 3 7 の出力 と の一致が取れて二進カ ウ ン タ 6 3 が計
    [0069] 数される。 こ の状態でカ ウ ン タ 6 3 カ 2 を計数する
    [0070] とその出力に よ ]3 フ リ ッ プ フ ロ ッ プ 6 4 が反転 し、
    [0071] その出力に よ ] ア ン ドゲー ト 5 0 が開かれる。 この
    [0072] 状態か ら比較器 3 9 の出力の反転がカ ウ ン タ 5 3 で
    [0073] 計数される よ う にる る 。
    [0074] 最初の測定で著 し く 小さ る /が得 られて しま う
    [0075] と、 その後の測定において /m+ よ ]) も小さ る /
    [0076] がレ ジ、 ス タ 3 6 に得 られ 状態が生じ、 比較器
    [0077] 5 2 の出力が高 レ ベ ル になる こ と がない。 つま 合
    [0078] 格指令が得 られ く る る。 これを避けるため設定回
    [0079] 路 6 5 に設定 した値 M と、 一致検出回路 6 6 にお ひ、 / て カ ウ ン タ 5 3 の計数値とを比鞍し、 両者が一致す る とその出力に よ ってオアゲ一 ト 5 8 を通じて合格 指令を設定回路 4 5 に与える。
    [0080] 比較器 3 9 の出力 も判定回路 4 5 に供給され、 レ 、クス タ 3 6 よ ] の今回の測定値 4fn がレ ジス タ 3 8 よ ] の前回の測定値 fn一 ί よ も大き く ¾ つ た場合 はその他の合袼条件が得 られて も不合格と判定する。 即ち比教器 4 3 か ら / が一定値 F i よ J も小さ こ と、 カ ウ ン タ 5 3 が計数値設定値 N と一致 した と と、 又カ ウ ン タ 5 3 の計数値が設定値 M と一致 した こ と の何れか或いはこれ等の組合せを合格と判定す るが、 比較器 3 9 にお て前回の測定値 /η_ 1 よ 1 も今回の測定値 /n が大 き い と判定 した場合は不合 格とする 。
    [0081] 尚 カ ウ ン タ 5 3 は省略 し、 比較器 5 2 の出力が得 られた状態で合格と判定する こ と も で き るが、 その 場合は比較器 4 3 の出力における条件を満足 し、 か つ比較器 3 9 における条件、 つま J 今回の測定値の 方が小さ い と言う条件を必ず満足する よ う にされる。
    [0082] この よ う に して変動量、 即ち振動子のペー ス部を 拘束 した時 と しない時 と の周波数の差 / の最小値 が検出される。 その状態を保持して基準周 ¾数と ¾ る よ う に水晶振動子を研削するが、 変動量が最小値 と して ¾定された時のベー ス部を拘束 しな 場合の 周波数がレ ジス タ 2 2 よ ] レ ジス タ 6 0 に / " 0 と し 一し 疋される。 一方目 標値 F。 は設定回路 2 3 に設 定され、 これ等周波数 /"。 及び F。 は平均回路 6 9 にお ^て平均化され、 即ち F0' = :F。 が演算さ れる。
    [0083] 切替回路 7 0 に平均回路 6 9 の出力 F0' と設定回 路 2 3 よ の F Q と が与え られ、 当初は平均値出力
    [0084] Fo' が引算回路 1 7 1 に供給され、 これと ペース部 を拘束 し い状態の測定出力、 即ち レ ジス タ 2 2 の 出力 / f と の差 Fo' — が演算される。 その出力に応 じて制御回路 3 7 が制御され、 振動子に対する研削 制御が行われる。
    [0085] 引算回路 1 7 1 の出力は比較器 1 7 2 において回 路 1 7 3 か らの基準値 F 2 と 比較され、 こ の値 F 2 よ ] も ^、さ く なる と比較器 1 7 2 の出力に よ ] 制御 回路 4 1 が制御されて切替回路 7 0 を制御 して、 そ の出力 と して 目標値 F。 を取出 し、 これ と レ ジス タ 2 2 よ ] の と の差が回路 1 7 1 で取 られる。 この 出力と 回路 1 7 4 よ ]9 の基準値 F 3 とが比較回路
    [0086] 6 7 で比較され、 差回路 1 7 1 の出力が基準値 F 3 よ も 小さ く なる と比較回路 6 7 の出力で制御回路
    [0087] 6 8 を制御して全工程を終了する。
    [0088] こ の よ う に して常 変 ¾量が大き く ずれないよ う に調整制御する こ とが繰返されるため、 その変—励量
    [0089] --.一 ひ、
    [0090] OM7I の最小値の領域が狭 場合で も短時間に正しい最小 値を検出する こ とがで き る 。
    [0091] 更にその変動量が或る一定値以下に ¾ つ たこ と を 最小値と して判定する場合だけで ¾ く その最小値を 通過 したこ と を判定する と共にその最小値を基準と するため最小値特性にば らつき のある も ので も必ず 最小値に調整する こ とがで き る。 先の実施例のよ う に最小値に調整する前に補助基準値 Faにな っ たか否 かを調べ目標値に近い値 Fa迄先ず加工し、 その後最 小値を検出する場合は最小値に ¾つた後の調整、 つ ま 両脚部が平衡 した後に目標値に近ずける加工時 間が短か く 、 加工量も 少な く 、 その変勣量の最小値 が大き く ずれるおそれはるい。 更に変動量を最小値 にする制御 とその最小値にな った後に 目標値に調節 する制御とは全 く別個に構成 して も 良い。 又変動量 と して音叉型振動子のベー ス部を拘束 した場合と拘 束 し い場合と における振動周波数の差を取ったが、 ベー ス部の漏れ振動の大き さを変動量と して検出 し て も 良い。
    [0092] 水晶振動子を研削 してその ^部のパ ラ ン ス を取る よ う に調整する研削装置と しては例えば次の よ う な 装置で構成する こ とがで き る。
    [0093] 第 6 図に示すよ う に基台 1 5 上に回転箱 7 1 が回 動自 在に取付け られる 。 回転箱 7 1 の両端部 被加
    [0094] O PI WIPO NAT10 ェ物保持機構 7 2 がそれぞれ設け られ （ 第 6 図では —方はか く れている ） 、 その保持機構 7 2 を被う 騷 音遮斬用の防音用 力パ ー 7 3 を回転箱 7 1 に設ける と とがで き る 。 基台 1 5 よ ]) 回転箱 7 1 上に延長 し た延長部にハ。 ネ ル 7 4 が設けられ、 そのハ。 ネ ル 7 4 の基台 1 5 側において一方の保持機構部 （ 図では見 えてるい ） が位置され、 その保持機構に保持された 被加工物、 つま ]9振動子に図 示 して ¾ が工具と しての砥石が対向 され、 その砥石を回転させる モ ー タ 1 7 が基台 1 5 の延長部のハ。ネルと反対側の位置 に設け られている。 更に必要に応 じてハ。 ネ ル カバ、一 7 5 に よ ]3 ハ。ネル 7 4 よ ] 突出 した保持機構 7 2 及 び回転箱 7 1 を蓋する こ とがで き る。
    [0095] 第 7 図 に示すよ う に基合 1 5 よ 上側に突出 して 回動 自在に保持された回動支持軸 7 6 上に回転箱
    [0096] 7 1 が固定される。 基台 1 5 内のモータ 7 8 の回転 軸 と支持軸 7 6 とがチヱ ン 7 9 にて違結されモータ 7 8 の駆動に よ っ て回転箱 7 1 が回 される。
    [0097] 回転箱 7 1 の斜め上側に、 例えば 4 5°傾斜 した傾 斜基板 8 1 が基台 1 5 よ ]) 延長され、 傾斜基板 8 1 に これ とほぼ直角に ¾ 8 2 が揷通され、 軸 8 2 の回 転箱 7 1 側の一端にダ イ ヤ モ ン ド ホ イ ール、 つま 砥石 1 8 が取付け られている。 軸 8 2 の他端はモ ー タ 1 7 の回転軸に連結される。
    [0098] V,rIrO こ の例では砥石 1 8 の回転に従っ てその回転軸に 対 して砥石 1 8 が直角方向に在復違動する よ う に構 成された場合である。 即ち第 7 図及び第 8 図に示す よ う に軸 8 2 上に歯車 8 3 が形成され、 歯車 8 3 に 歯車 8 4 が結合 し、 その歯車 8 4 の軸 8 5 の一端部 には第 8 図に示すよ う に軸に対 して斜めの カ ム溝 8 6 が周面に形成されている 。 こ の カ ム溝 8 6 には 傾斜基板 8 1 に固定されたビ ン 8 7 が揷入される。
    [0099] 軸 8 5 は歯車ボ ッ ク ス 8 8 内に回耘自在に保持さ れ、 歯車ボ ッ ク ス 8 8 にモータ 1 7 が固定され歯車 ボ ッ ク ス 8 8 は傾斜基板 8 1 に設け られた一対の案 内軸 8 9 ， 9 1 に案内されて傾斜基板 8 1 に沿っ て 移動でき る よ う にされる。 モータ 1 7 の回転に よ つ て歯車 8 3 ， 8 4 を介 してカ ム 8 6 が回転され、 ピ ン 8 7 が固定されて るため このカ ム軸 8 5 は翱方 向に移動 し、 従って歯車ボ ッ ク ス 8 8 及びモータ 1 7 は案内軸 8 9 s 9 1 に案内されて移動する。 つ ま ]9その軸は カ ム溝 8 6 の回転に よ っ て在復違動す る こ と にるる。
    [0100] 裉加工物保持機構 7 2 は 7 2 a 及び 7 2 b の二つ があ 、 これ らは、 その 7 2 a について第 1 1 図に 示す よ う に、 保持本体 9 2 が回転箱 7 1 の上面板の 孔 9 3 よ 部突出 してお！）、 本体 9 2 は回転箱 7 1 に設け られた ¾ 9 4 を中心に回動で き る よ う に
    [0101] 0MPI
    [0102] ,、 wWiIpPoO 保持されてい る 。 こ の本体 9 2 の内端において突片
    [0103] 9 5 が基台 1 5 側に突出 し、 その突片 9 5 は回転箱 7 1 の側板 9 6 に取付け られたス ト ッ ハ ° 9 7 の端面 と可動ス ト ッ ハ。 9 8 と に挾まれている。
    [0104] 保持部本体 9 2 内には図に示して いがモータ が 内蔵され、 こ のモータ軸は傾斜基板側に突出 し、 そ のモータ軸 9 0 にその軸を延長する よ う に筒体 9 9 が回転に対 しては係合 し、 軸方向には摺勣で き る よ う に取付けられる 。 この筒体 9 9 の外側にお て複 数の コ レ ツ ト 爪 1 0 1 が配され、 これ等 コ レ ツ ト 爪 1 0 1 は これ等間に配された例えば音叉型水晶振動 子 1 3 のベー ス部 1 2 を挾むこ とがで き る よ う に位 置されている 。 コ レ ツ ト爪 1 0 1 はパネ性の支持片
    [0105] 1 0 2 の一端に取付け られ、 支持片 1 0 2 の他端は 基部 1 0 3 に固定されている。 支持片 1 0 2 はその パネ性に よ っ て コ レ ツ ト 爪 1 0 1 は互に外側、 つま U ベー ス部 1 2 か ら離れる方向に偏倚している 。 コ レ ツ ト 爪 1 0 1 の互の外側面は振動子 1 3 の上側に 近ず く に従 っ て外側に互に鹺れる テー ハ。面と される 筒体 9 9 の上端部は保持钵 1 0 0 と され、 保持体 1 0 0 に振動子 1 3 が保持される。 即ち例えば第 1 2 図 示すよ う に保持体 1 0 0 の端面よ ¾方向 に導通用ハ。 ィ プ 1 1 4 ， 1 1 5 が涅込ま れ、 これ等 ハ。ィ プ 1 1 4 , 1 1 5 に振動子のベー ス部 1 2 の底 面よ j 導出されている リ ー ド 1 1 6 ， 1 1 7 が揷入 されて振動子 1 3 が保持体 1 0 0 に保持される。 保 持体 1 0 0 の振動子保持面に、 シ リ コ ン ゴ ム のよ う ¾音響漏れを保持する リ ーク 防止層 1 1 8 を取付け る こ と が望ま しい。 保持体 1 0 0 の取付けは後で述 ベる。
    [0106] 第 1 1 図にお い て コ レ ツ ト 爪 1 0 1 の更に外側に お い て締付リ ン グ 1 0 4 が同軸心的に配される。 締 ，付 リ ン グ 1 0 4 は可勣円筒 1 0 5 上にその内側に鍔 状に一体に形成されている。 リ ン グ 1 0 4 の内周面 は振動子 1 3 か ら離れるに従っ て径が小さ く なる テ
    [0107] 。面と され、 この面は爪 1 0 1 の外面のテ 。面 と整合する よ う にされる 。
    [0108] 可動円筒 1 0 5 内にお て締付 リ ン グ 1 0 4 と基 部 1 0 3 と の間にお て支持片 1 0 2 の外側にコ ィ ルばね 1 0 6 が巻かれ、 その コ イ ルばね 1 0 6 に よ
    [0109] 締付 リ ン グ 1 0 4 は振動子 1 3 側、 即ち図にお い て上側に倔倚され、 コ レ ツ ト 爪 1 0 1 を内側に押さ えてべ，ス部 1 2 の外周面が爪 1 0 1 の内面でほぼ 均一に押え られる。
    [0110] この よ う に してペース部 1 2 に対 してその外周面 のほぽ全体にわたっ て均一に力を加える こ とがで き る。 可動円筒 1 0 5 の他端の外側に係合用の鍔 1 07 が一体に形成され、 その鍔 1 0 7 と コ レ ツ ト 爪 1 01
    [0111] . v:;io 側において対向 して駆動 リ ン グ 1 0 8 が同軸心的に 配される 。 ，駆動 リ ン グ 1 0 8 は厘動円筒 1 0 9 の一 端に取付け られ、 驅動円筒 1 0 9 の他端に周鍔 1 1 1 がー体に形成される。 驅動円筒 1 0 9 は保持部本体
    [0112] 9 2 上に同軸心的に移動自在に篏合される。 保持部 本体 9 2 の下側の周鍔 1 1 2 が周鍔 1 1 1 と対向さ れる。 これ等周鍔 1 1 1 ， 1 1 2 間において保持部 本体 9 2 にコ イ ル ばね 1 1 3 が巻かればね 1 1 3 に よ ]) 周鍔 1 1 1 はコ レ ツ ト爪 1 0 1 側に.偏倚される c 従っ て駆動 リ ン グ 1 0 8 が係合鍔 1 0 7 カ ら難れ、 可動円筒 1 0 5 がコ レ ツ ト 爪 1 0 1 側にばね 1 0 6 の作用に よ っ て移動 して コ レ ツ ト爪 1 0 1 は締付 リ ン グ 1 0 4 に よ っ て締付け られる 。
    [0113] 駆動円筒体 1 0 9 をその周鍔 1 1 1 に よ コ イ ル ばね 1 1 3 の偏倚力に抗 して押 し下げ周鍔 1 1 2 側 に接近させる と、 駆動 リ ン グ 1 0 8 が係合鍔 1 0 7 と係合 して可動円筒 1 0 5 がコ レ ツ ト 爪 1 0 1 力 ら 鹺れる方向に押 し下げられ、 コ レ ツ ト 爪 1 0 1 がそ の支持片 1 0 2 のばね作用に よ っ て開いて振動子
    [0114] 1 3 のペー ス部 1 2 に対する拘束が辫除される。
    [0115] 基部 1 0 3 は保持部本体 9 2 に固定'され、 基部
    [0116] 1 0 3 の中心孔に保持体 1 0 0 の筒 9 9 が揷通さ れる 。 基部 1 0 3 の内周面の下半部は径が大 と され て段部 1 1 9 が形成され、 その段部 1 1 9 の段部
    [0117] ひ- 1 1 9 よ ] も 下側において筒体 9 9 の外径が大 と さ れて段部 1 2 1 が形成される。 とれ等段部 1 1 9 及 び 1 2 1 間に コ イ ルばね 1 2 2 が筒体 9 9 に巻かれ、 ばね 1 2 2 の作用に よ 保持体 1 0 0 は下側に偏倚 される。
    [0118] 更に基部 1 0 3 の中間部に形成された横孔に回動 軸 1 2 3 が設け られ、 その軸 1 2 3 回動レパ ー
    [0119] 1 2 4 ^取付け られて る。 回動 レパ、一 1 2 4 の一 端は筒体 9 9 に形成された孔内に揷入されて係合さ れてい る 。 回動レパ一 1 2 4 の他端は可動円筒 105 の孔 1 2 5 から外部に突出される。
    [0120] コ レ ツ ト爪 1 0 1 に よ る ベー ス部 1 2 に対する拘 束を単に解放するに必要とする距齄だけ可動円筒
    [0121] 1 0 5 を移動 した場合は回動レバ一 1 2 4 は孔 1 25 の上端に係合 しるい。 しカゝ し更に可動円筒 1 0 5 が 保持部本体 9 2 側に引 き下 られる と孔 1 2 5 の上端 に回動レパ ー 1 2 4 が係合 して回動レバ、一 1 2 4 は 図において反時計方向に回動し、 これに よ 保持体
    [0122] 1 0 0 は保持部本侔 9 2 か ら ¾れる方向に移動 し、 ベー ス部 1 2 がコ レ ツ ト爪 1 0 1 よ も上側に突出 して音叉型振動子 1 3 の取外しを容易に行る う こ と 力'で き る。
    [0123] お可動円筒 1 0 5 に軸方向に沿った長孔 1 2 6 が形成され、 基部 1 0 3 の周面に固定されたス ト ッ 一 C: '71 _
    [0124] Vrir O ハ0 ヒ。 ン 1 2 7 が長孔 1 2 6 よ ] 突出される 。 ヒ。 ン 1 2 7及び長孔 1 2 6 によ ！）可動円筒 1 0 5 の移動 範囲が制限されている。
    [0125] 振動子 1 3 を こ の保持機構に よ っ て保持した状態 に お て砥石 1 8 に接触させる接触機構が設けられ ている。 その接触の際（'て衝撃をやわ らげるダ ンハ。 一 機構が付加される。 即ち第 1 1 図に示すよ う に回転 箱 7 1 内において保持部本体 9 2 よ j 基台 1 5 側に 突出 した突片 9 5 は、 プ ラ ン ヅ ャ ソ レ ノ ィ ド 1 2 8 のプ ラ ン -ク ャ' 1 2 9 に違結される 。 又こ のプ ラ ン ジ ャ 1 2 9 に突片 9 5 が固定され、 その延長上におい て抵抗板 1 3 1 が固定される。 抵抗板 1 3 1 は、 回 転箱 7 1 内に取付け られた容器 1 3 2 内に収容され たダ ンハ。 一 オ イ ル、 例えばシ リ コ ン オ イ ル 1 3 3 内 に挿入されてい る 。
    [0126] 可動ス ト ッ ハ。一 9 8 は回動ア ー ム 1 3 4 の一端に 違結され、 回動アー ム 1 3 4 は回転箱 7 1 の底面板 よ ] 外部に突出 して軸 1 3 5 を中心に回動で き る よ う にされる。 軸 1 3 5 の位置にお て回動アー ム 1 3 4 は折 ¾げ られてその折 H部 1 3 4 a が第 1 1 図 にお て時計方向に回 ¾される と 回— アー ム 1 34 が回 ¾ して可動ス ト ッ ハ0 — 9 8 が突片 9 5 よ ] れ る 。 従っ てその状態にお てプ ラ ン ジ ャ ソ レ ノ ィ ド 1 2 8 が附勢される と プ ラ ン ジ ャ 1 2 9 が引込んで モータ保持部本体 9 2 は軸 9 4 を 中心に回動され、 'これに伴っ て振動子 1 3 が砥石 1 8 と接触する。
    [0127] その接触は抵抗板 1 3 1 及びダ ン ハ。一オ イ ル 1 33 の作用に よ って衝撃を受ける と と く徐々 に行われ る。 保持体 1 0 0 に保持された振動子 1 3 の両脚部 の中心線と保持部本体 9 2 内に設け られたモ ー タ の 軸 9 0 の軸心 と を一致させ、 そのモータ軸 9 0 を 1 8 0 度回転させる こ と に よ 振動子 1 3 の両脚部 を片方ずつ砥石 1 8 に同一条件で接触させる こ とが で き、 両脚部に対 し同一量ずつ切削する こ とがで き る。 ¾ お回耘箱 7 1 が回動され、 振動子 1 3 が砥石 1 8 と対向される とその振動子 1 3 を保持する保持 璣搆 7 2 a と対応 した回動アー ム 1 3 4 の折曲げ部 1 3 4 a が基台 1 5 上に固定された突部 1 3 6 と係 合 して前記時計方向の回動が行われる。 しか し砥石 1 8 と難れてる側の保持機構部 7 2 b に対する回動 アー ム 1 3 4 についてはその折曲げ部 1 3 4 a と対 向す 基台 1 5 上には突部 1 3 6 が設け られて ¾ 。 従っ て この保持機構部 7 2 b は ス ト ツ ハ。 9 7 及び 9 8 に よ j 安定に保持される。 可動ス ト ッ ハ。 9 8 は 自動的に復帰する よ う に図にお い て保持機構部 72 b 倜に示すよ う に回動アー ム 1 3 4 と 回転箱 7 1 の底 板に取付けられた突起と の間にコ イ ル ばね 1 3 7 が 設け られこれに よ 回動アー ム 1 3 4 が自動復帰す る よ う に されて る。
    [0128] 保持部本体 9 2 に対 し駆動円筒体 1 0 9 がばね 1 1 3 に よ って上側、 つま 回転箱 7 1 よ ] 突出す る側に偏倚されている 。 従っ て,駆動円筒体 1 0 9 が 上側に押されて駆動 リ ン グ 1 0 8 も上側に位置し、 ばね 1 0 6 の作 に よ っ てコ レ ツ ト 爪 1 0 1 が締付 け られる 。
    [0129] しか し第 1 0 図に示すよ う に回転箱 7 1 内におい てその上面板に押え レ バ ー 1 3 8 の中間部が回動自 在に取付け られその一端部は駆動円筒体 1 0 9 の鍔
    [0130] P 1 の上面と対向される。 回転箱 7 1 の底面板 よ ] 上下方向に移動で き る よ う に案内体 1 3 9 に よ 案内されて推動杆 1 4 1 が突出 し、 推動杆 1 4 1 の上端上に押え レ パ ー ： I 3 7 の他端部が位置される 推動杆 1 4 1 の下端には ロ ー ラ 1 4 2 が回勣自在に 取付け られて る 。
    [0131] 砥石 1 8 と対向 し ¾ 側の保持機構部 7 2 b にお いて 図に示すよ う ロ ー ラ 1 4 2 が、 基台
    [0132] 1 5 よ 比較的大 き く 出た凸部 1 4 3 上にの ] 上.け' る。 従っ て推動杆 1 4 1 は上方に移勤 して柙ぇレ バ — 1 3 8 は第 1 0 図にお て反時計方向に回動 し、 鍔部 1 1 1 を大き く 下倜に押 し下げて 動円筒体 1 0 9 が押 し下げ られる。 よ っ て先に述べた よ う に 可動円筒 1 0 5 も大 き く 押下げられてコ レ ツ ト爪 1 0 1 の締付けが解除される と共に筒体 9 9 及び保 持体 1 0 0 が押上げ られて振動子 1 3 を容易に外す こ と がで き る 。 しかし砥石 1 8 と対向 してる保持機 構部 7 2 a においては ロ ーラ 1 4 2 が乗 ])上げる よ う ¾凸部 1 4 3 が保持機搆部 7 3 b 側のそれよ ] も 低 ため、 回勣レパ ー 1 2 4 が回動される こ と な く、 コ レ ッ ト 爪 1 0 1 の開閉制御のみ行わせる こ と がで き る
    [0133] 振動子の調螯に当っ てはその脚部 1 a , 1 1 b の何れの固有振動が高 かを知る必要がある 。 その ためには例えば第 1 3 図に示すよ う に光濕 1 4 6 と してタ ン グ ス テ ン ラ ンプ等を使用 し、 レ ンズ 1 4 7 にて光源 1 4 6 か らの光を平行光線と して据動子
    [0134] 1 3 に、 その腕 1 1 a , 1 1 b の配列方向 と直角に 照射する 。 振動子 1 3 の光源 1 4 6 と反対側におい て遮光板 1 4 8 を配 し、 その遮光板 1 4 8 に はス リ ッ ト 1 4 9 が設け られてお ] 、 こ のス リ ッ 卜 1 4 9 と振動子の脚 1 1 a 及び 1 1 b との関係は第 1 4 図 に示すよ う に、 これ等をその の配列方向 と直角方 向か ら見た時、 互 重る 合っ て振 ¾子 1 3 を励'振 器 1 5 1 にて振勤させた場合に腕 1 1 a , 1 1 b が 互に接近 した状態てス リ ッ ト 1 4 9 を透遏する透過 光が 少 し、 逆に腕 1 1 a ， 1 1 b が互に開いた状 態では透過光が増大する。 この よ う に腕 1
    [0135] ,へ
    [0136] / 一 G' : 1 1 1 b の開閉振動に応 じてス リ ツ ト 1 4 9 の透過光 量が変化する 。 そのス リ ッ ト 1 4 9 を透過 した光は 光電変換素子 1 5 2 にて受光されて電気信号に変換 される。 光電変換素子 1 5 2 と しては例えばフ 才 ト ト ラ ン ジ ス タ を用いる こ とがで き、 そのェ ミ ッ タ 側 は抵抗器 1 5 3 を通 じて接地され、 コ レ ク タ 側は抵 抗器 1 5 4 を通 じて電源端子 1 5 5 に接続される と 共にコ ン デ ン サ 1 5 6 にて直流分を遮断 し交流分の みが取出 される。 つま ]J 腕 1 1 a ， 1 1 b の開閉振 勣を示す交流振動が取出される。
    [0137] こ の開閉振動の電気信号は増幅器 1 5 7 にて増幅 され、 更に不要成分が 波器 1 5 8 にて除去され、 開閉振動成分のみが取出され、 これは位相比較器 1 5 9 へ供給される。 一方振動子 1 3 のペー ス 1 2 の腕 1 1 a ， 1 1 b の一方側に例えば圧電素子 1 61 'が取付け られ、 これに よ 振勣子 1 3 のペー ス の 了 ン パ ラ ン ス振動が電気信号 と して検出される。 こ の 検出 出力は増幅器 1 6 2 を通 じて位相比較器 1 5 9 に供給され、 増辐器 1 5 7 か らの開閉振動と位相比 較される。 測定誤差や増幅器 1 5 7 ， 1 6 2 の特性 な どに よ らず検出 した開閉 ϊ§動 と ア ンパ ラ ン ス振動 と の位相差が正位相又は逆位相にるる よ う に一方の 信号通路に揷入された位相調整器 1 6 3 が調整され る ο こ の位相比較器 1 5 9 の位相比較結果が同位相の 時は例えば腕 1 1 b の固有振動が豌 1 1 a の固有振 動よ ] 周波数が高 く 、 逆に逆位相の場合は腕 1 1 b の固有振動の方が低い と言う 関係が予め知られて る。 従っ て腕 1 1 a ， 1 1 b の固有振動周波数の何 れが高いかを位相比較器 1 5 9 の出力に よ っ て検出 する と とがで き る。 尚音叉型振動子と しては圧電型 の振動子に限らず磁歪型の振動子において もその各 腕の固有振動周波数の高低.を同様に検出する こ と が でき る 。 この よ う に して振動子の腕に加工を旆すこ と な く その何れの腕の固有振動周波数が高いかを検 出する こ と がで き る 。
    [0138] 、 ' ATIQ
    权利要求:
    Claims 請 求 の 範 囲
    1. 音叉型振動子をその振動周波数が、 目的周波
    数よ ]3所定値低い周波数よ ] も 高 く なる よ う に加工
    する第 1 工程 と、 その第 1 工程を終っ た音叉型振動
    子を、 その両脚部の固有振動周波数の差が所定値以
    下になる よ う に加工する第 2工程と、 その第 2工程
    を終っ た音叉型振動子を、 その両脚部の固有振動の
    差を一定値以下に保持 し がら振動周波数が上記目
    的周波数になるように加工する第 3工程と を有する音叉型
    振動子の周波数調整方法。
    2. 前記第 2 工程にお て両脚部の固有振勣周波
    数の差を、 音叉型振動子のベー ス 部の振動量を検出
    し、 これが小さ く る る よ う に加工する特許請求の範
    囲第 1 項記載の音叉型振動子の周波数調整方法。
    3. 前記第 2 工程にお て、 両脚部の固有振動周
    绂数の差を、 音叉型振動子のペー ス部に ¾械的拘束
    を与えた時の振動周波数と、 その拘束を解除 した時
    の振動周波数と の差を検出 し、 これが小さ く る る よ
    う に加工する特許請求の範囲第 1 項記載の音叉型振
    動子の周波数調整方法。
    4. 前記第 2 工程にお て音叉型振！)子の両^部
    の一方を加工する ご と に固有振動周波数の差を ^定
    し、 その測定値 と 前回の測定値と を比較 し、 前者が
    後者よ 小さ い場合は今回加工を行った脚部に ¾ し
    、
    ', ， / ΐΓΟ 、 ) 加工を行い、 前者が後者よ 大 き ければ今回加工を 行わ ¾かった脚部に対 し加工を行 、 こ の よ う こ と を繰返 し、 固有振動周波数の差が所定値以下に ¾ る こ と を検出 して第 2 工程の終了とする特許請求の 範囲第 1 項記載の音叉型振動子の周波数調整方法。
    5. 前記第 2 工程において音叉型振動子の両鉀部 の一方を加工する ごと に固有振動周波数の差を測定 し、 その測定値と前回の測定値と を比較し、 前者が 後者よ 小さい場合は今回加工を行った脚部に対 し 加工を行い、 前者が後者よ ！）大き ければ今回加工を 行わるかった脚部に対 し加工を行 、 この よ う ¾ こ と を繰返 し、 固有振 »周波数の差の最小値を検出 し て第 2 工程の終了とする特許請求の範囲第 1 項記載 の音叉型振動子の周波数調整方法。
    6. 脚部に対する加工を一方か ら他方へ変更 した 回数を計数 し、 こ の計数値が所定値以上に った後 に、 前記最小値の検出を も っ て第 2工程の終了とす る特許請求の範囲第 5 項記載 O音叉型振動子の周波 数調整方法。
    7. 前記最小直が検出 されるい袂態で前記計数値 が前記所定 mよ i 大 き い第 2 の所定値 よ 大き く ¾ つ た こ とを検出 して苐 2 工程の終了 とする特許請求 の範囲第 7 項記載の音叉型振動子の周波数調 ¾方法。
    8. 前記第 2 工程 ' おいて、 音叉型振動子の両脚
    ―. "二 ·Α
    ■VIP° 部の一方を加工する ご と に固有振動周波数の差を測
    定 し、 その測定値と前回の測定値と を比較 し、 前者
    が後者よ i 小さい場合は今回加工を行った脚部に対
    し加工を行 、 前者が後者 よ 大き ければ今回加工
    を行わなかった脚部に対 し加工を行い、 この よ う な
    こ とを繰返し、 脚部に対する加工を一方か ら他方へ
    変更した回数を計数 し、 こ の計数値が所定値以上に
    つたこ とを検出 して第 2工程の終了とする特許請
    求の範囲第 1 項記載の音叉型振動子の周波数調整方
    法 o
    9. 前回の測定値よ も今回の測定値が大 き い場
    合は第 2 工程の終了 と しな 特許請求の範囲 4 乃至
    8 項の何れか 記載の音叉型振動子の周波数調整方
    Ά 0
    10. 前記第 3 工程は 目標周波数と、 音叉型振動子
    の振動周波数と の平均値を求め、 その平均値と音叉
    型振動子の振勃周波数と の差 応 じてその差が小さ
    く な る よ う に音叉型振動子を加工する工程 と、 その
    平均値と音叉型振動子の振動周波数 と の差が所定値
    以下に っ たこ と を検出 し、 その後は音叉型振動子
    の振動周波数と上記 目標周波数と の差に応 じてその
    差が小さ く る る よ う 'に音叉型振 ¾子を加工 し、 こ の
    差が所定値以下にる ったこ と を検出 して第 3 工程の
    終了 と する工程 と よ なる特許請求の範囲第 1 項記
    , -- Λ o :n wir-o
    ノ 載の音叉型振動子の周波数調整方法。
    11. 前記第 1 工程又は第 2工程における加工開始 に当 ]3、 音叉型振動子の両脚部間の開閉振動と、 そ の音叉型振動子の不平衡振動と をそれぞれ検出 し、 これ ら両振動の位相が同位相か逆位相かを判定 し、 その判定結果に よ ！） その音叉型振動子の何れの脚部 . に対 し先ず加 工す ベ-き 決定を行 う こ と を特徵と す る特許請求の範囲第 1 項記載の音叉型振動子の周波 数調整方法。
    12. 音叉型捱動子を保持する保持機構 と、 音叉型 振動子を切削加工する工具と、 これ ら保持機構及び 工具を相対的 移動させて工具を上記音叉型振動子 に接.触させた ])、 離した！)させる移動機構 と、 上記保 持された音叉型振動子をその両脚部の中心隸を中心 と して 1 8 0 度回転させる 回転機構と、 .上記音叉型 振動子の両脚部の固有振動周波数の差を検出 し、 こ れが所定値以下にるる よ う に、 上記工具及び回転機 構を制御 し、 かつそれが所定値以下にる った後に音 叉型 動子の振動周波数が目 標周波数にな る よ う に 少 く と も上記工具を制御する制御部と を具備する音 叉型搔動子の周波数調整装置。
    13. 前記保持機構は、 これに保持された音叉型振 動子のペ ー ス 部の外周面と対向 して配されたコ レ ッ ト 複数の爪 と、 その コ レ ツ ト 爪をペー ス部に対 して
    -:- - Λ 締付け汔 D、 解除 し 7¾ i する よ う に設け られた締付 リ ン グ とが付加され、 コ レ ツ ト 爪に よ ！） ペー ス部を 締付けた時、 及びこれを解除 した時の音叉型振動子 の振動周波数の差に よ 1 両脚部の固有振動周波数の 差と対応 したも のを検出する手段を含む特許請求の 範囲第 1 2項記载の音叉型振動子の周波数調整装置 c
    14. 前記音叉型振動子 と工具と を接触させる際の 衝撃を防 ぐダ ン ハ。 —機構を含む特許請求の範囲第
    1 2 項又は第 1 3 項記載の音叉型振動子の周波数調
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    US4385473A|1983-05-31|
    JPS6258171B2|1987-12-04|
    JPS562722A|1981-01-13|
    DE3049644C2|1989-05-18|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1980-12-24| AK| Designated states|Designated state(s): DE US |
    1982-09-23| RET| De translation (de og part 6b)|Ref document number: 3049644 Country of ref document: DE Date of ref document: 19820923 |
    1982-09-23| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 3049644 Country of ref document: DE |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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